碳化硅化學(xué)氣相 沉積外延設(shè)備工業(yè)設(shè)計(jì)
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納設(shè)智能(NASOTECH),是由來(lái)自劍橋大學(xué)的博士、研究員和資深行業(yè)專家創(chuàng)立的科技型企業(yè),主要從事第三代半導(dǎo)體碳化硅、新型光伏材料、納米材料等先進(jìn)材料領(lǐng)域所需的薄膜沉積設(shè)備等高端設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。其中碳化硅外延設(shè)備采用自主創(chuàng)新的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),同時(shí)兼容6英寸、4英寸外延片生長(zhǎng),是一款工藝指標(biāo)優(yōu)異、耗材成本低、維護(hù)頻率低的中國(guó)首臺(tái)完全自主創(chuàng)新的碳化硅外延設(shè)備,占據(jù)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
該設(shè)備工業(yè)設(shè)計(jì)項(xiàng)目,由意途工業(yè)設(shè)計(jì)公司的設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)與NASOTECH技術(shù)團(tuán)隊(duì)深度溝通及設(shè)計(jì)分析后共同傾力打造,旨在通過技術(shù)與工業(yè)設(shè)計(jì)的融合,打造具有高端、智能、科技屬性的行業(yè)標(biāo)桿設(shè)備。